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致輕、致小，實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
| 品 名 | 塵埃粒子計數(shù)器 | |
| 型 號 | 3950-00 | |
| 粒子測量 | 測試方法 | 光散射法 |
| 粒徑通道 | 2粒徑（0.1、0.3μm） | |
| 額定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
| 測量時間 | 6秒~99分59秒（1次測量時間） | |
| 間隔時間 | 6秒~99分59秒（測量周期） | |
| 采樣次數(shù) | 1~999次 或 連續(xù)測試 | |
| 地點設(shè)定 | 99個地點 | |
| 測量方式 | 重復、單次、連續(xù)、計算 | |
| 測量數(shù)據(jù)顯示時間 | 1~10秒 | |
| 測量數(shù)據(jù)顯示 | 累計值∑ 差分值△及柱形圖 | |
| 最大可測濃度 | 10,000,000個/m3 | |
| 計數(shù)效率 | 50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 偽 計 數(shù) | <1個/35min | |
| 粒徑分辨率 | 15%以下（相對0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 氣 源 | 內(nèi)置泵 | |
| 顯示器 | 4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 | |
| 通迅功能 | 本 體 | USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud） |
| 數(shù)據(jù)存儲 | 媒 體 | 內(nèi)存 |
| 數(shù)量、格式 | 最大10,000個、CSV格式 | |
| 顯示語言 | 英文、日語 | |
| 電 源 | AC100~240V | |
| 使用環(huán)境 | 本 體 | 15~35℃、0~85%RH （無結(jié)露） |
| 外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
| 重 量 | 3.4kg | |
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