配備有防止手柄因振動而松動的機構(gòu)。
具有增強安全性的隔膜閥。
產(chǎn)品陣容包括FS-55L(軟樹脂座椅結(jié)構(gòu))型和FS-55LMT(金屬觸摸座椅結(jié)構(gòu))型。
使用我們的 55L 結(jié)構(gòu),具有良好的可靠性記錄。它與氟氣混合物、高純氦氣、高純氯氣和其他高壓氣體兼容。壓蓋配備了一個機構(gòu),可以防止手柄松動,以防止手柄因使用低壓液化氣體時發(fā)生的振動而松動。
FS-55LMT(金屬觸摸座)適用于與樹脂不相容的氣體或高腐蝕性氣體。
具有實績記錄的高純度氣體(半導(dǎo)體專用氣體)的標準型號。
手柄開啟和關(guān)閉操作輕巧流暢。14.7 MPa的氣缸壓力可以用手關(guān)閉。
Cv值不小于0.3,為壓縮氣體閥門的參考值。
主體為SUS316L不銹鋼。
與多種流體兼容:用于半導(dǎo)體和液晶(如磷化氫和砷化氫)的特殊材料氣體;高純、高壓氣體,如高純氦氣、高純氯氣;以及氨等液化氣體。
氦氣檢漏儀用于測量每個工件的泄漏(內(nèi)部和外部泄漏)。
在壓蓋上配備了一個機構(gòu),可防止因振動而松動。
提供允許在出口內(nèi)安裝孔口的類型。
型 | FS-55L系列(FS-55LMT金屬觸摸座椅系列) |
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閥體材質(zhì) | SUS316L |
圓盤座 | PCTFE、PVDF、金屬 |
最大工作壓力 | 14.70MPa |
溫度范圍 | -20°C — +65°攝氏度 |
流量系數(shù) Cv |
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氦氣泄漏率 | 1.0 x 10-9 Pa?m3/秒 |
用于訂購 | 氣體 類型 連接 所需的法規(guī)和標準 如果有任何選項和特殊功能 |
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